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微細加工技術
~
劉明
微細加工技術
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:
劉明
出版地:
北京
出版者:
化學工業出版社;
出版年:
2004
集叢名:
現代加工技術叢書
標題:
特種加工 -
電子資源:
http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=ISBN7%2d5025%2d6077%2d7
摘要註:
本書較為詳細地介紹了光學曝光技術、光學分辨率增強技術、電子束光刻技術、極端遠紫外光刻技術等。
ISBN:
7502560777
微細加工技術
劉明
微細加工技術
/ 劉明 ... [等]編著 - 北京 : 化學工業出版社, 2004. - (現代加工技術叢書).
ISBN 7502560777
特種加工
微細加工技術
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本書較為詳細地介紹了光學曝光技術、光學分辨率增強技術、電子束光刻技術、極端遠紫外光刻技術等。
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ISBN7-5025-6077-7
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