提要註: |
本書是金屬有機物氣相外延(OMVPE或MOCVD)基礎理論和應用實踐方面的專著, 第一章首先總攬了OMVPE的生長過程, 並和其他的外延工藝做細緻的比較.第二到第六章則分別論述了OMVPE生長的各個方面 : 熱力學、表面物理過程、反應源、動力學以及流體力學和品質輸運.第七章討論了OMVPE生長過程的設計, 包括動力學限制及高溫區的生長, 同時也對整體的OMVPE過程進行設計.第八章則介紹了如GaAs, InP, GaN等特定的材料.第九章介紹了超晶格結構.第十章則對OMVPE生長的器件進行了論述. |