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[ subject:"電機工程" ]
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微機電技術
~
婁, 利飛,
微機電技術
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
微機電技術/ 田文超, 婁利飛編著
作者:
田, 文超,
其他作者:
婁, 利飛,
出版者:
西安 :西安電子科技大學出版社, : 2014,
版本:
1版
面頁冊數:
線上資源(1冊)
附註:
北大方正電子書
提要註:
本書系統地介紹了微機電技術基本內容, 分析方法和主要應用, 包括微機電系統概述、材料、工藝、典型器件等.
標題:
電機工程 -
電子資源:
點擊此處查看電子書
ISBN:
9787560633350
微機電技術
田, 文超,
微機電技術
[電子資源] /田文超, 婁利飛編著 - 1版 - 西安 :西安電子科技大學出版社,2014 - 線上資源(1冊) - 新興微納電子技術叢書.
北大方正電子書
本書系統地介紹了微機電技術基本內容, 分析方法和主要應用, 包括微機電系統概述、材料、工藝、典型器件等.
ISBN: 9787560633350
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微機電技術
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