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硅材料檢測技術
~
王麗
硅材料檢測技術
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:
康偉超
合作者:
王麗
出版者:
化學工業出版社;
出版年:
2009
標題:
半導體材料 -
電子資源:
http://www.apabi.com/cec/?pid=book.detail&metaid=m.20090929-m802-w092-017
摘要註:
本書主要介紹了半導體硅材料常規電學參數的物理測試方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、硅單晶中氧和碳含量的測定方法。本書還介紹了多晶硅中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的制備及高純分析方法。
ISBN:
9787122055682
硅材料檢測技術
康偉超
硅材料檢測技術
[電子書] / 康偉超, 王麗 : 化學工業出版社, 2009.
ISBN 9787122055682
半導體材料
王麗
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本書主要介紹了半導體硅材料常規電學參數的物理測試方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、硅單晶中氧和碳含量的測定方法。本書還介紹了多晶硅中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的制備及高純分析方法。
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