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硅單晶拋光片的加工技術
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張厥宗
硅單晶拋光片的加工技術
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:
張厥宗
出版地:
北京
出版者:
化學工業出版社;
出版年:
2005
標題:
半導體材料 -
電子資源:
http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20060822%2dm011%2dw003%2d026
ISBN:
7502572244
硅單晶拋光片的加工技術
張厥宗
硅單晶拋光片的加工技術
/ 張厥宗編著 - 北京 : 化學工業出版社, 2005.
ISBN 7502572244
半導體材料
硅單晶拋光片的加工技術
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