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微電子機械系統

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姜岩峰

微電子機械系統

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	姜岩峰
Place of Publication:	北京
Published:	化學工業出版社;
Year of Publication:	2006
Subject:	微電子技術 -
Online resource:	http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20061218%2dm024%2dw005%2d048
Summary:	本書介紹了微電子機械系統(MEMS)相關的基礎知識, 主要工藝和器件結構等方面內容, 對該領域的熱點研究問題進行了探討. 主要內容分為五個部份, 首先講述了MEMS的相關力學量測量方法, 然後介紹了MEMS中的主要工藝, 在此基礎上, 系統介紹了MEMS系統中的傳感器, 包括傳感器的原理, 結構和實現方法, 另外對MEMS器件的使用方法和應用範圍進行了討論, 最後闡述了MEMS系統仿真方面的內容.
ISBN:	7502581588

微電子機械系統
姜岩峰

微電子機械系統 / 姜岩峰編著 - 北京 : 化學工業出版社, 2006.
ISBN 7502581588
微電子技術

微電子機械系統
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330 $a 本書介紹了微電子機械系統(MEMS)相關的基礎知識, 主要工藝和器件結構等方面內容, 對該領域的熱點研究問題進行了探討. 主要內容分為五個部份, 首先講述了MEMS的相關力學量測量方法, 然後介紹了MEMS中的主要工藝, 在此基礎上, 系統介紹了MEMS系統中的傳感器, 包括傳感器的原理, 結構和實現方法, 另外對MEMS器件的使用方法和應用範圍進行了討論, 最後闡述了MEMS系統仿真方面的內容.
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