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硅材料檢測技術

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王麗

硅材料檢測技術

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	康偉超
Alternative Intellectual Responsibility:	王麗
Published:	化學工業出版社;
Year of Publication:	2009
Subject:	半導體材料 -
Online resource:	http://www.apabi.com/cec/?pid=book.detail&metaid=m.20090929-m802-w092-017
Summary:	本書主要介紹了半導體硅材料常規電學參數的物理測試方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、硅單晶中氧和碳含量的測定方法。本書還介紹了多晶硅中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的制備及高純分析方法。
ISBN:	9787122055682

硅材料檢測技術
康偉超

硅材料檢測技術 [電子書] / 康偉超, 王麗 : 化學工業出版社, 2009.
ISBN 9787122055682
半導體材料

王麗

硅材料檢測技術
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337 $a 需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書
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