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微系統原理與技術

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傅建中

微系統原理與技術

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	傅建中
Alternative Intellectual Responsibility:	胡旭曉
Place of Publication:	北京
Published:	機械工業出版社;
Year of Publication:	2005
Subject:	微電機 -
Online resource:	http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20060816%2dm005%2dw005%2d023
Summary:	本書系統闡述了微系統技術的基本概念、原理和特點；全面介紹了微系統設計技術、微製造技術、微系統檢測技術、微系統集成與控制技術和典型微系統──芯片實驗室技術。本書可以作為高校相關專業研究生和高年級本科生的選修課教材和課外讀物，也適合微系統技術和專業人員及對微系統技術感興趣的有關人員閱讀。
ISBN:	7111157826

微系統原理與技術
傅建中

微系統原理與技術 / 傅建中, 胡旭曉編著 - 北京 : 機械工業出版社, 2005.
ISBN 7111157826
微電機

胡旭曉

微系統原理與技術
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337 $a 需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書
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