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硅單晶拋光片的加工技術

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張厥宗

硅單晶拋光片的加工技術

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	張厥宗
Place of Publication:	北京
Published:	化學工業出版社;
Year of Publication:	2005
Subject:	半導體材料 -
Online resource:	http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20060822%2dm011%2dw003%2d026
ISBN:	7502572244

硅單晶拋光片的加工技術
張厥宗

硅單晶拋光片的加工技術 / 張厥宗編著 - 北京 : 化學工業出版社, 2005.
ISBN 7502572244
半導體材料

硅單晶拋光片的加工技術
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